隨著集成電路技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體封裝技術(shù)也在不斷創(chuàng)新和改進(jìn)，以滿足高性能、小型化、高頻化、低功耗、以及低成本的要求。等離子處理技術(shù)作為一種高效、環(huán)保的解決方案，能夠滿足先進(jìn)半導(dǎo)體封裝的要求，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片DB/WB工藝、Flip Chip (FC)倒裝工藝中。

DB工藝前等離子處理

芯片鍵合(Die Bonding)是指將晶圓上切割下來的單個(gè)芯片固定到封裝基板上的過程。其目的在于為芯片提供一個(gè)穩(wěn)定的支撐，并確保芯片與外部電路之間的電氣和機(jī)械連接。常用的方法有樹脂粘結(jié)、共晶焊接、鉛錫合金焊接等。

在點(diǎn)膠裝片前，基板上如果存在污染物，銀膠容易形成圓球狀，降低芯片粘結(jié)度。因此，在DB工藝前，需要進(jìn)行等離子處理，提高基板表面的親水性和粗糙度，有利于銀膠的平鋪及芯片粘貼，提高封裝的可靠性和耐久性。在提升點(diǎn)膠質(zhì)量的同時(shí)可以節(jié)省銀膠使用量，降低成本。

WB工藝前等離子處理

芯片在引線框架基板上粘貼后，要經(jīng)過高溫使之固化。如果芯片表面存在污染物，就會影響引線與芯片及基板間的焊接效果，使鍵合不完全或粘附性差、強(qiáng)度低。在WB工藝前使用等離子處理，可以顯著提高其表面附著力，從而提高鍵合強(qiáng)度及鍵合引線的拉力均勻性，提升WB工藝質(zhì)量。

*WB工藝前處理應(yīng)用案例

Flip Chip (FC)倒裝工藝等離子應(yīng)用

在Flip Chip（FC）倒裝工藝中，將稱為“焊球(Solder Ball)”的小凸塊附著在芯片焊盤上。其次，將芯片頂面朝下放置在基板上，完成芯片與基板的連接后，通常需要在在芯片與基板之間使用填充膠進(jìn)行加固，以提高倒裝工藝的穩(wěn)定性。

通過等離子清洗可以改善芯片和基板表面潤濕性，提高其表面附著力，進(jìn)而影響底部填充膠的流動性，使填充膠可以更好地與基板和芯片粘結(jié)，從而達(dá)到加固的目的，提高倒裝工藝可靠性。

片式真空等離子清洗機(jī)

針對半導(dǎo)體行業(yè)，DB/WB工藝、RDL工藝、Molding工藝、Flip Chip (FC)倒裝工藝等，能夠大幅提高其表面潤濕性，保證后續(xù)工藝質(zhì)量，從而提高封裝工藝的可靠性。

設(shè)備優(yōu)勢：

一體式電極板結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，等離子體密度高，均勻性好，處理效果佳

雙工位處理平臺，四軌道同時(shí)上料，有效提升產(chǎn)能

可兼容多種彈匣尺寸，可自動調(diào)節(jié)寬度，提升效率并具備彈匣有無或裝滿報(bào)警提示功能

工控系統(tǒng)控制，一鍵式操作，自動化程度高

行業(yè)應(yīng)用：

金屬鍵合前處理：去除金屬焊盤上的有機(jī)污染物，提高焊接工藝的強(qiáng)度和可靠性

LED行業(yè)：點(diǎn)銀膠、固晶、引線鍵合前、LED封裝等工序中可提高粘和強(qiáng)度，減少氣泡，提高發(fā)光率

PCB/FPC行業(yè)：金屬鍵合前、塑封前、底部填充前處理、光刻膠去除、基板表面活化、鍍膜，去除靜電及有機(jī)污染物